ALICAT 气体质量流量控制器
美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到优于100 ms的控制速度，并保持极佳稳定性，并有超低压损产品可供您选择。
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：优于0.5%读数
● 量程可控比宽，0.01~100%满量程
● 响应时间快，优于30 ms
● 内置98种气体
● 可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气
精度升级
量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃（从25℃开始）
± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM
量程可控比（稳态） 0.01～100%满量程
最大显示流量 128 %满量程
最大可控流量 102.4 %满量程
屏幕刷新频率 10Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
